四甲基氢氧化铵
四甲基氢氧化铵 (75-59-2)性状
简称：TMAH：
沸点：110 °C密度：0.866 g/mL at 25 °C
蒸气压：17.5 mm Hg ( 20 °C)
折射率：n20/D 1.384
闪点：80 °F
储存条件 2-8°C
四甲基氢氧化铵用途
1.在有机硅方面，四甲基氢氧化铵作为二甲基硅油，氨基硅油，苯甲基硅油，有机硅扩散泵油，无溶剂有硅模塑料，有机硅树脂，硅橡胶等的催化剂；
2.在分析方面，四甲基氢氧化铵作为极谱试剂；
3.在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素；
4.在有机硅片生产中常用作计算机硅片面用光亮剂、清洗剂和触刻剂等。
优点：
四甲基氢氧化铵优点是：它具有强碱性，在不超过分解点的温度下稳定。当催化完毕后很容易除掉，不留任何残渣。对有机硅产品无污染。因此又称为“暂时催化剂”，在分析中可用于极谱试剂用来沉淀不含灰份的许多元素的氢化物。
四甲基氢氧化铵(TMAH)的应用领域如下
(1)表面活性剂：由于TMAH属于季铵碱，可以用作表面活性剂。
(2)有机合成试剂：TMAH是有机碱，能和各种不同的酸反应制备相应的铵盐，如四甲基碳酸氢铵，四甲基氟化铵等较难合成且没有市售的铵盐；制备酸性化合物烷基衍生物等。(3)催化剂：四甲基氢氧化铵在有机硅合成方面被广泛用作相转移催化剂，如作二甲基硅油、苯甲基硅油、有机硅扩散泵油、无溶剂有硅模塑料、有机硅树脂和硅橡胶等的催化剂；可作为橡胶防老剂中间体的缩合催化剂；作沸石、分子筛合成的催化剂。其优点是，反应完后加热升温，可使之分解为气体而赶走不残留在产品中。
(4)分析领域：TMAH是优异的甲基化剂，其甲基化能大，酯化速度快，在用气相色谱法测定脂肪酸的组成时，TMAH用作前处理剂。在极谱分析中作支持电解质；TMAH是强有机碱，可作为有机酸的滴定剂，尤其是在避免金属离子和非水溶剂时，TMAH是很好的选择。
(5)半导体领域：有机材料蚀刻中TMAH作为正胶显影剂，有机材料蚀刻主要是指光刻胶在经过显影和图形转移后的去胶；TMAH是一种具有优良的腐蚀性能的各向异性腐蚀剂，选择性好，无毒且不污染环境。最重要的是TMAH与互补金属氧化物半导(CMOS)工艺相兼容，符合SOC(嵌入式系统微处理器)的发展趋势。TMAH正逐渐替代KOH和其他腐蚀液，成为实现微电子机械系统(MEMS)工艺中微三维结构的主要腐蚀剂。
(6)其他领域:在产品提纯方面作为无灰碱用以沉淀许多金属元素；作pH值缓冲剂。
包装：
塑料瓶、塑料桶。
工业上常用25%四甲基氢氧化铵溶液
